圖1 SU-8 Developer（左圖舊包裝，右圖新包裝）

化學品商品名：SU-8 Developer

生產廠家：Kayaku Advanced Materrials, Inc.(formerly MicroChem)

主要成分：

1-Methoxy-2-propyl acetate (CAS: 108-65-6), > 99.5%丙二醇甲醚醋酸酯 （醋 cu）

2-methoxy-1-propyl acetate < 0.5% 2-甲基丙醇乙酸酯 < 0.5%

顯影原理：

SU-8膠的顯影原理是在顯影液中溶解掉未曝光部分的光刻膠。當基片放人顯影液中，未曝光部分的光刻膠會被顯影液溶解。而曝光過的光刻膠已交聯形成網狀聚合物，因此顯影液對它基本沒有溶解作用，形成與掩模版相反的微結構圖形。

實驗室用戶使用建議：

顯影操作請在通風櫥內進行。假如用戶給4英寸的硅片顯影，可以在6英寸的玻璃培養皿中倒入適量顯影液，顯影液浸沒硅片即可，可以用拔掉針頭的針筒吸取培養皿中的顯影液并慢慢推注射器使培養皿中的顯影液流動，加塊顯影。觀察硅片表面，可以看到硅片底面反光說明顯影結束。取出顯影后的硅片，在黃光下觀察，若是有彩色的反光，可以用新的針筒（去掉針頭）抽取新的顯影液，輕輕噴在硅片表面進行沖洗。然后用去離子水沖洗干凈，氮氣吹干。

若用戶有顯影機，可以按照顯影機說明書進行操作。

顯影機（WH-XY-01）

顯影機技術參數：

? 震蕩方向：順時針/逆時針

? 轉速：10～300RPM

? 液量控制：50～500mL

? 適配硅片/芯片：≤7 寸

? 顯影時間：0～999s

? 進液速度：0～100%

? 電源輸入：AC220V±10V/50HZ

? 功率：150W

? 重量：14 kg

? 外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

? 工作環境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %